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电子纯试剂概述

高纯试剂的一种分类,主要是针对的是电子元件中使用的化学试剂,又称超净高纯试剂,最重要的特点就是金属含量极低。用于硅片清洗,光刻,腐蚀工序,其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。超净高纯试剂具有品种多、用量大、技术要求高、贮存有效期短和强腐蚀性等特点。
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