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  • 品牌:美国Angstrom Sun
  • 型号: 美国AST光谱反射薄膜分析仪SR300
  • 产地:美国
  • 供应商报价: 1美元
  • 标签:
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详细介绍


产品简介:

SR系列薄膜分析产品来自美国AST(Angstrom Sun)公司,其可以实现薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜进行分析提供了极大便利。




特点

易于安装

容易操作的基于视窗结构的软件

先进的光学设计,以确保能发挥出最佳的系统性能

基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量

独特的光源设计,有着较好的光源强度稳定性

有四种方法来调整光的强度:

§通过电源的调节旋钮来调节电源输出的大小

§在光输出端口滤光槽内调整滤光片来调整

§调整光束大小

§通过TFProbe软件,在探测器里调整积分时间

最多可测量5层的薄膜厚度和折射率

在毫秒的时间内,可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数

能够用于实时或在线的厚度、折射率测量

系统配备大量的光学常数数据及数据库

对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析;

可升级至MSP(显微分光光度计)系统,SRM成像系统,多通道分析系统,大点测量。

通过模式和特性结构直接测量。

提供的各种配件可用于特殊结构的测量,例如通过曲线表面进行纵长测量。

2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。

系统配置:

型号:SR300

探测器:2048像素的CCD线阵列

光源:高稳定性、长寿命的卤素灯

光传送方式:光纤

台架平台:特殊处理铝合金,能够很容易的调节样品重量、200mmx200mm的大小

软件:TFProbe2.2版本的软件

通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连

测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率

电脑硬件要求:P3以上、最低50MB的空间

电源:110240VAC/50-60Hz,1.5A

保修:一年的整机及零备件保修


选项

?

1用于传递和吸收测量的传动夹具(SR300RT))

2.最低可测量直径为5μm(MSP300)

3. 在多个位置下,多个通道用于同时测量(SR300xX)

4. 在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘(SRM300-300/200)


规格:

波长范围:400到1100nm

光斑尺寸:500μm至5mm

样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm

基板尺寸:最多可至50毫米厚

测量厚度范围:20nm到50μm

测量时间:最快2毫秒

精确度:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)

重复性误差:小于1


应用:

半导体制造(PROxide,Nitride..)

液晶显示(ITOPRcellgap.....

医学,生物薄膜及材料领域等

油墨,矿物学,颜料,墨粉

医药,中间设备

光学涂层,TiO2,SiO2,Ta2O5.....

半导体化合物

MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

非晶体,纳米材料和结晶硅

…………


相关薄膜物性分析产品应用及产品技术问题,

欢迎关注:北京燕京电子官方页面,或与我们联系。



薄膜物性分析仪器系列(膜厚,光学参数反射谱及颜色,膜面阻,等)


膜厚,光学参数:

SR100 薄膜分析仪

SR300 薄膜分析仪

SR500 薄膜分析仪

SE200BA 椭偏薄膜分析仪

SE200BM 椭偏薄膜分析仪

SE200-MSP 椭偏薄膜分析仪

SE300BM 椭偏薄膜分析仪

SE500BA 椭偏薄膜分析仪

MSP100 薄膜分析仪

MSP300 薄膜分析仪

MSP500 薄膜分析仪

uRaman TechnoSpex-拉曼光谱仪及模块


膜面阻:

EddyCus-TFlab2020、

EddyCus-TFlab4040、

EddyCus-TFmap2020SR、

EddyCus-TFmapHybrid、

EddyCus-TFinline、

EddyCus-TFlabHybrid

定制型







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