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  • 品牌:德国BMT
  • 型号: WLI Infra
  • 产地:德国
  • 供应商报价: 面议
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详细介绍

WLI Infra干涉仪

德国BMT WLI Infra干涉仪是用于硅薄膜的厚度测量设备。仪器适用于实验室、车间和生产线上的质量管理。测量头提供空前的重复性,设计坚固紧凑、免维护,适用于在线测量。

产品特点:

MEMS、硅梁、透明薄材料的非接触高精度厚度测量;

纳米级分辨率;

手动或自动测量步骤设计,简单易用;

不受温度变化和热效应的影响;

极佳的重复性;

可配备表面轮廓测量。

技术参数:

厚度分辨率(nm) <1

探针大小 (μm) 约150(可定制)

厚度范围 (μm) 0.1-600

仪器尺寸 (mm) 320x320x380

重量 (kg) 120

晶圆夹具 定制,可达30cm

全自动测量

标准或定制的软件包

产品优势

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