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上海长方光学仪器有限公司

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2018-07-31 09:18:24  来源:内容来源于网络 浏览量:2873次
【导读】日立高新技术公司(以下简称“日立高新”)于7月31日正式推出肖特基场发射扫描电镜SU7000,它缩短了通过采集多种信号获取样品多种信息的时间,真正实现了高通量的观察与分析。

  日立高新技术公司(以下简称“日立高新”)于7月31日正式推出肖特基场发射扫描电镜SU7000,它缩短了通过采集多种信号获取样品多种信息的时间,真正实现了高通量的观察与分析。

  

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  SU7000外观图

  扫描电子显微镜(SEM)可通过检测样品激发出的二次电子、背散射电子、X射线等信号,获得从微细结构到组成成分等各种信息,因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生物、材料等诸多领域。随着SEM的应用范围在不断扩大,对观察时间的缩短、信号的迅速高效采集提出了更进一步的需求。

  此次推出的SU7000采用全新设计的探测器,使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据获得的信号来调整样品与透镜之间的距离(工作距离/以下简称WD),以设置最佳的观察与分析条件,而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统,可在不改变WD的条件下更高效地接收各种信号,缩短了样品观察和分析的时间,提高了测试效率。

  而且,SU7000还配置了可同时6通道显示界面(前代机型只能同时显示4通道),进一步升级SEM控制系统,大幅提高了信号获取速度,由此实现了样品的高通量观察。

  它还标配超大样品仓,增设了附件接口,可适用于各种样品的观察与分析。

  日立高新技术将在8月5日(星期日)~8月9日(星期四)在美国马里兰州举办的“Microscopy & Microanalysis”及9月5日(星期三 )~9月7日(星期五)在幕张展示中心(千叶县千叶市)举办的“JASIS 2018”上展示这款SU7000,预计每年全球销量有望达150台。

  日立高新技术科学系统事业部以2020年成为电子显微镜行业全球第一为中期战略目标,今后仍将全力推动产品研发与市场,努力为全球制造业作出更大的贡献。作为最先进、最前沿的事业创新型企业,今后以成为提供高新技术和解决方案的全球一流企业为目标,始终站在客户的立场,快速满足客户和市场需求。

  【主要特点】

  1.在相同WD的条件下,可同时实现二次电子、背散射电子观察与X射线荧光分析

  2.最多可同时实现6通道检测与显示

  3.在最大像素10240 x 7680时,也可获得图像数据

  4.同级别*设备中最多的可配置18个附件接口

  5.支持最低300Pa的低真空模式(选配)

  *空间分辨率在1 nm/1 kV以下

  【主要规格】

产品名称

SU7000

电子源

ZrO/W热场发射(肖特基热场发射)

二次电子分辨率

0.8 nm(加速电压 15 kV

0.9 nm(加速电压 1 kV

加速电压

0.1~30 kV

放大倍率

20~2,000,000

束流

最大200 nA

样品台

X/Y/Z : 135 x 100 x 40 (mm


  产品咨询

  日立高新技术(上海)国际贸易有限公司北京分公司

  生命科学系统本部  先端分析装置部

  TEL:400 630 5821



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标签:扫描电镜 , 日立高新技术公司
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